一种三维变形光学测量系统及微结构力学性能测试应用

一种三维变形光学测量系统及微结构力学性能测试应用一种三维变形光学测量系统及微结构力学性能测试应用摘要：本文介绍了一种新型的三维变形光学测量系统，该系统基于全息干涉法和数字像面全息术，可以实时而精确地测