gan从蓝宝石衬底上激光剥离技术的研究

GaN从蓝宝石衬底上激光剥离技术的研究 第２ｚ卷第“期 ２。。２年１１月固体电子学研究与进展ＲＥＳＥＡＲＣＨ＆ＰＲＯＧＲＥＳＳ０ＦＳＳＥＮｏｖ．．２（ｍ２ ＧａＮ从蓝宝石衬底上激光剥