磁控溅射高熵合金氧化物扩散障薄膜的研究的任务书

磁控溅射高熵合金氧化物扩散障薄膜的研究的任务书任务书课题名称：磁控溅射高熵合金氧化物扩散障薄膜的研究研究目的：随着微电子技术的不断发展，集成电路规模不断提高，电子元器件体积日渐缩小，逐渐进入亚微米甚至