流化床化学气相沉积法制备高质量氮化钛粉体研究的任务书

流化床化学气相沉积法制备高质量氮化钛粉体研究的任务书任务书一、研究背景氮化钛是一种具有很高的化学稳定性和机械性能的材料，广泛应用于电子、光电、陶瓷、制备纳米粉末等领域。以往的研究主要是利用传统的化学气