重掺Sb硅单晶中氧沉淀的研究

重掺Sb硅单晶中氧沉淀的研究标题：重掺Sb硅单晶中氧沉淀的研究摘要：氧在硅单晶中的沉淀行为对于硅材料的电学性质和器件性能具有重要影响。本论文通过研究重掺杂Sb硅单晶中氧的沉淀行为，分析了氧沉淀对材料性