白光扫描干涉测量

垂直扫描白光干涉法测量技术垂直扫描白光干涉法是干涉法的基础上发展起来的一种光学非接触测量方法。结合了白光干涉显微技术和相移干涉技术，也被称为白光干涉条纹扫描法、相干检测法等。光的干涉是光在传播过程中呈