单晶硅棒切片工艺详细流程

单晶硅 切 片制作 . 生产工艺流程详细介绍以下：固定：将单晶硅棒固定在加工台上。切片：将单晶硅棒切成拥有精准几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采纳水淋，产生废水和硅渣。退火：双工位热氧化炉经氮气吹