真空镀膜系统中反应溅射控制的分析与研究的中期报告

真空镀膜系统中反应溅射控制的分析与研究的中期报告本次报告是关于真空镀膜系统中反应溅射控制的分析与研究的中期报告。背景真空镀膜技术是一种通过将薄膜材料在真空环境下加热至升华或融化状态，然后让其沉积在制品