基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究

基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究引言纳米科技的快速发展使得纳米晶粒在材料科学和纳米电子学领域得到广泛应用。硅材料作为重要