纳米集成电路大生产中新工艺技术发展趋势

纳米集成电路大生产中新工艺技术发展趋势摘要：随着科学技术的不断发展，当前微电子事 业正在不断进步，尤其是近年微电子科学在集成电路上的应 用，使得传统的集成电路正在不断的进行革新，但是依靠着 科学技术