基于有限元的圆锥螺旋MEMS弹簧非线性分析

基于有限元的圆锥螺旋MEMS弹簧非线性分析基于有限元的圆锥螺旋MEMS弹簧非线性分析摘要：MEMS（微机电系统）弹簧是一种重要的微型机械元件，在微纳尺度的应用中起着至关重要的作用。本文基于有限元方法，