基于SOI上微环相位传感器及微流通道的工艺研究的开题报告

基于SOI上微环相位传感器及微流通道的工艺研究的开题报告一、选题背景和意义微环相位传感器已被广泛用于高分辨率的化学分析、生物分子检测等领域。而基于SOI（Silicon on Insulator）的微