用压电方法激励的硅梁力传感器

用压电方法激励的硅梁力传感器压电方法激励的硅梁力传感器摘要：力传感器是一种用于测量和检测力的装置，具有广泛的应用。本文介绍了一种新型的硅梁力传感器，采用压电方法激励。该传感器由硅梁结构和压电材料组成，