集成电路工艺基础教学总结

集成电路工艺基础教学总结课程类别：专业课 性质：必修课教学目标：教学目标1:培养科学观察和思维的能力，了解并掌握集成电路制 造关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器; 能够简要叙述