基于ZnO玻璃结构的声表面波器件研究中期报告

基于ZnO玻璃结构的声表面波器件研究中期报告1. 研究背景声表面波（SAW）器件是利用晶体中的声波在表面传播的特性来进行物理量测量、信号处理和通信等领域中的一个重要组成部分。近年来，随着微电子技术和微