MEMS电镀铜薄膜疲劳特性与寿命预测研究的综述报告

MEMS电镀铜薄膜疲劳特性与寿命预测研究的综述报告随着MEMS技术的逐渐成熟，MEMS器件的应用范围越来越广泛。其中，电镀铜薄膜在MEMS制造中的应用十分重要，在Gyro和加速度计等惯性器件中广泛使用