光掩膜板超声波清洗机

光掩膜板超声波清洗机光掩膜板包含了整个硅片图形特征进行1：1图形复制，这种掩膜板用于比较老的接近式光刻和扫描对准投影机中。光掩膜板的基材一般为熔融石英，在制作过程中要在石英表面溅射一层铬层，如果石英表