通过DFM实现设计技术与工艺节点的对等演进

通过DFM实现设计技术与工艺节点的“对等演进”随着半导体行业向45nm及更精微节点迈进，制造技术面临着来自间距、迁移率、 HYPERLINK "http://www.eetchina.com/sear