设备管道清洗干燥方案

多晶硅设备管道清洗干燥方案1工艺流程1.1脱脂清洗工艺针对标业主要求的预清洗设备管道的不同和现场考察情况，清洗施工工艺划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。●喷淋清洗工