外延薄膜中的缺陷

- 多晶薄膜：薄膜由大量微小晶体(晶粒)组成。单晶薄膜：薄膜中的全部原子或分子呈规则排列。外延薄膜：在单晶基片上，生长出的单晶薄膜与基片保持一定的晶体学取向关系。(薄膜和衬底材料之间晶格的连续过渡)如