超精密加工装备及其关键部
- 超精密加工装备及其关键部件 - 1.给定的精度指标(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工变质层等)2.加工机械的直线运动和回转运动精度;3.加工机械
超精密加工装备及其关键部