碳基芯片产业发展路径行动计划

碳基芯片产业发展路径行动计划一、碳基芯片产业发展路径1、加快碳基芯片产业关键技术研发加快碳基芯片材料制备关键技术和核心设备研发进程。大力推动 高纯度半导体单壁碳纳米管、碳纳米管薄膜大面积制备等碳基芯片