基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究的开题报告

基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究的开题报告一、研究背景MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微纳技术的重要应用之一，它将微电子技术、传感器技术和微机械