交指型MEMS滤波器的优化设计

交指型MEMS滤波器的优化设计交指型MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）滤波器是一种常见的微型滤波器，其结构主要由交指电极、谐振腔和支撑结构组成。该滤波器具有体