非晶硅低温氧化工艺的研究

非晶硅低温氧化工艺的研究非晶硅低温氧化工艺研究摘要：随着微电子技术的不断发展，非晶硅材料在太阳能电池、可穿戴设备和柔性显示器等领域中得到了广泛的应用。而对非晶硅材料的低温氧化工艺的研究成为了人们关注的