电子级氯化氢氯气项目建议书x

电子级氯化氢、氯气产品项目建议书一、项FI背景：目前，我国大宗化学品大都过剩，而相应的高纯电子级化学品却长期依赖进口，随着 国内电子行业的发展，电子级化学品在国内有较大缺口。电子级产品主要应用在大规模

电子级氯化氢、氯气产品项目建议书 一、项背景： FI 目前，我国大宗化学品大都过剩，而相应的高纯电子级化学品却长期依赖进口，随着 国 内电子行业的发展，电子级化学品在国内有较大缺口。电子级产品主要应用在大规模集 成电 路、液晶屏、光电半导体、光导纤维等方面、太阳能多晶硅电池、太阳能薄膜电池等 领域。 目前微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向飞速发展，对广 泛用于单 晶硅气和抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具 有以 5.0N99.999% 上的纯度，还要求、和金属离子等有机杂质的含量越低越好。电子级氯化氢气体 THCH2O5.ON 主要用于外延生长前硅和神化镣高温气相刻蚀,清除钠离子。也用于金 属表面化学处理，激光 用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、口等 国进口，但近年来，我国 电子工业所需的化学气体的研制，在技术上已有不少突破。大宗 化学品价格低迷，而电子级 产品附加值高，利润丰厚，目前国内仅有极少数厂家生产。电 子级产品所需检测手段要求高， 金属离子检测要求达到级（即十亿分之一）。 ppb 半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料 气 体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和 运载 气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为 电子级， 大规模集成电路）级，（超大规模集成电路）级和特大规模集成 电路） LSI （VLSI ULSI（ 级。 电子级气体分类如下 气体种类 气体纯度 杂质含量（或 （v/v）mol/mol） 纯气 >0.01% ,>100x10-6 <99. 99% (4N) 6 高纯气 0. 001% , <10x10' >99.999%(5N) 6 0. 0001% ,<lx10' >99. 9999% (6N) 6 0. 00001% ,<0. 1x1 O' >99.99999%(7N) 超纯气 6 0. 000001% ,<0.01x1 O' >99.999999%(8N) 6 0. 0000001% ,<0. 001x1 O' >99.9999999%(9N) 二、技术来源 中吴光明化工研究设计院始建于年，是原化工部直属科研院所，目前隶属于中国吴 华化 1964 工集团总公司，是我国目前唯一以特种气体为主要专业研究方向的科研单位。集科研 生产、