多晶氮化铝薄膜制备及其择优取向生长研究的开题报告

多晶氮化铝薄膜制备及其择优取向生长研究的开题报告一、研究背景多晶氮化铝是一种具有优秀性能和广泛应用前景的新材料，被广泛应用于高温结构材料、电子器件、光学器件等领域。通过氮化铝薄膜制备多晶氮化铝材料，可