MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究

MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究摘要：随着微电子技术的高速发展，MEMS（Micro Electromechanical Systems，微机电系统）悬臂梁探针逐渐