NaOH对硅基薄膜体声波谐振器的背腔刻蚀研究

NaOH对硅基薄膜体声波谐振器的背腔刻蚀研究摘要：硅基薄膜体声波谐振器是一种在声学和电子器件中广泛应用的微纳机械系统，其制备过程中的背腔刻蚀对谐振器的性能起着重要影响。本文针对NaOH对硅基薄膜体声波