蓝宝石衬底表面粗糙度的研究

蓝宝石衬底表面粗糙度的研究 Time:2009-09-16 11:15:00  Author:  Source: 分享到： 魏恒，刘玉岭，陈婷，孙业林，刘效岩(河北工业大学 微电子技术与材料研究所