外部等离子体辅助磁控溅射低温沉积氮化钛薄膜的研究

外部等离子体辅助磁控溅射低温沉积氮化钛薄膜的研究随着科技进步和工业化进程的加快，氮化钛薄膜在各个领域中的应用越来越广泛。为了满足不同领域的需求，制备氮化钛薄膜的技术不断创新和改进。其中，外部等离子体辅