质子在固体中的多次散射对PBS法分析Ti、Zr膜中D、T的影响

质子在固体中的多次散射对PBS法分析Ti、Zr膜中D、T的影响概述质子反冲离子能谱(PBS)法是一种常用的固体界面成分分析方法。在PBS技术中，一个高能的离子束经过固体表面，并反弹回来；与此同时，固体