化学气相沉积技术的研究及在无机材料制备中的应用进展（待续）

化学气相沉积技术的研究及在无机材料制备中的应用进展（待续）化学气相沉积技术（Chemical Vapor Deposition，CVD）是一种在高温、高压和惰性气氛下，通过化学反应来制备各种材料的技术