超低能等离子体浸没注入及其在集成电路工艺中的应用研究的任务书

超低能等离子体浸没注入及其在集成电路工艺中的应用研究的任务书任务书超低能等离子体浸没注入及其在集成电路工艺中的应用研究任务背景：随着集成电路制造技术的不断发展，芯片尺寸不断缩小，工艺要求也越来越高。传