基于有限元方法的扫描探针纳米尺度放电电场研究

基于有限元方法的扫描探针纳米尺度放电电场研究摘要：本文基于有限元方法，研究了扫描探针在纳米尺度下的放电电场特性。首先，介绍了扫描探针和放电现象的基本知识，然后构建了有限元模型，并在ANSYS软件中进行