低压气相合成金刚石的机理研究新进展

低压气相合成金刚石的机理研究新进展摘要：低压气相合成金刚石是一种快速、高效、低成本的合成金刚石方法，在化学工业、电子工业等领域有广泛的应用。本文概述了低压气相合成金刚石的机理及新进展，包括化学反应机理