离子氮化均匀性研究

离子氮化均匀性研究离子氮化均匀性研究摘要：离子氮化是一种常用的制备氮化物薄膜的方法，具有广泛的应用。然而，离子氮化过程中的氮化物分布均匀性是影响薄膜质量和性能的重要因素。本文通过综述离子氮化均匀性的研