第2章+薄膜的物理气相沉积I

- 第二章 薄膜的物理气相沉积（Ⅰ） —蒸发法 - 引 言第一节 物质的热蒸发第二节 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度第三节 真空蒸发