MEMS谐振器的发展历程

MEMS谐振器的发展历程20世纪中期以来，频率控制的市场就是由石英晶体谐振器和石英振荡器所主导 的。甚至到了今天，几乎所有的电子设备在某方面仍是依赖机械石英晶体来产 生多种可能运行频率中的至少一种。现