实验二 离子注入TCAD工艺模拟实验

实验二离子注入的TCAD工艺模拟实验一、实验目的1.熟悉SilvacoTCAD的仿真模拟环境；2.掌握离子注入的关键工艺影响参数，以及如何在TCAD环境下进行离子注入工艺模拟；二、实验要求仔细阅读实验