基于超声辐射力及力矩的非接触型微装配关键技术研究

基于超声辐射力及力矩的非接触型微装配关键技术研究基于超声辐射力及力矩的非接触型微装配关键技术研究摘要：在微纳米尺度下，往往需要高精度和非接触式的微装配技术，以解决机械、电子等方面的应用需求。本文介绍了