基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究

基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究 摘 要 本文介绍氦质谱法真空箱检漏技术的原理，以及在工业产品泄漏检测的实际应用效果，同时提出了提高检测限的方法途径。 【关键词】氦质谱检漏仪 真空箱 漏