微电子材料教学方案

《微电子材料》课程教学大纲课程编号：9141___ 课程类型：专业基础课课程性质：理论课 课程学时：51适用专业：微电子科

《微电子材料》课程教学大纲 9141___ 课程编号：课程类型：专业基础课 51 课程性质：理论课课程学时： 2 适用专业：微电子科学与工程课程学分： 考核方式：考查 一、 课程定位 本课程是微电子学专业的一门专业基础课程。通过学习各类微电子材料的特 性、制备工艺、实际应用的等方面的知识，使学生对制造半导体器件、集成电路 所用的微电子材料用充分的了解，以便在工作中能熟练的制备和使用这些材料。 前续课程：半导体制造技术 后续课程：微电子封装技术、集成电路设计等 二、课程目标 1 、知识目标 1 （）掌握各类常用微电子材料的参数性能； 2 （）掌握各类常用微电子材料的基本制备工艺； 3 （）掌握各类半导体薄膜材料的制备与应用。 2 、能力目标 1 （）查阅微电子相关资料文献的能力； 2 （）熟悉常用微电子材料性能和应用； 3 （）熟悉各类微电子材料的制备技术。 3 、素质目标 （1） 具有较强的敬业精神和质量意识； （2） 具有科学的分析思维习惯； （3） 具有良好的团队精神和心理素质； （4） 具有良好的人际交往沟通能力。 三、课程设计 1 、设计理念 本课程以集成电路制造领域相关材料介绍为基础，课程设计力求实用、够用、 简易，注重将理论与实践相结合，并在课程教学过程中的突出细节教学和生产实