激光退火实现非晶Si晶化的成核势垒研究

激光退火实现非晶Si晶化的成核势垒研究激光退火（Laser Annealing）技术是利用激光辐照来移除材料表面的缺陷以及实现材料的特定结构调控而发展起来的一项技术。目前已经在半导体，生物医疗等领域得