微波等离子体谐振腔的模拟与研究的开题报告

微波等离子体谐振腔的模拟与研究的开题报告一、研究背景微波等离子体谐振腔是一种重要的等离子体激发器，其结构简单、激励电源顶部供电等特点使得其在等离子体产生、等离子体物理及相关领域得到了广泛的应用。然而，