MEMS热式风速风向传感器封装技术研究的中期报告

MEMS热式风速风向传感器封装技术研究的中期报告MEMS热式风速风向传感器是一种基于微机电系统（MEMS）技术制造的风速风向传感器，可以用于气象、环境监测等领域。本文对MEMS热式风速风向传感器封装技