体硅背多义性蚀型L波段FBAR滤波器设计的中期报告

体硅背多义性蚀型L波段FBAR滤波器设计的中期报告1. 研究背景和目的FBAR滤波器是一种利用压电材料制作的薄膜滤波器，在通信、雷达和卫星通信等领域中有广泛的应用。该研究旨在设计一种基于体硅背多义性蚀