基于LevelSet的PECVD沉积模拟研究中期报告

基于LevelSet的PECVD沉积模拟研究中期报告简介：PECVD（等离子体增强化学气相沉积）是目前主流的化学气相沉积技术之一。 随着半导体产业的不断发展，PECVD沉积技术不断地完善和改进，为此，