《安全管理》之真空机组使用说明及注意事项

真空机组使用说明及留意事项 一 真空机组开机流程1、 启动VB150维持泵，然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时，启动扩散泵加热。2

此资料由网络收集而来，如有侵权请告知上传者立即删除。资料共分享，我们负责传递知识。 真空机组使用说明及留意事项 一真空机组开机流程 1、启动VB150维持泵，然后打开出口阀。当电阻计2真空度达到5帕以下时，启 动扩散泵加热。 2、启动VB200旋片泵，打开旁通阀；当电阻计1真空度达到2000帕以下时，开启 2ZJP—300罗茨泵，进行预抽。 3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时，先关闭旁通阀，再打开 主阀，进行主抽。 4、关闭2ZJP—300罗茨泵，30秒后关闭VB200旋片泵。 二真空机组关机流程 1、关闭主阀。 2、启动-----关机程序。 三真空机组使用留意事项 1、真空机组在使用的全部过程中，必须保证水路、气路完整通畅。 2、必须严厉按照真空机组的开机、关机流程，进行操作。 3、扩散泵加热过程中，若不慎断水。应先关闭扩散泵电源，再关闭主阀。然后摘 下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。在这过程中，要不断保持VB150维 持泵和出口阀处于开启形状。 4、扩散泵加热过程中，若VB150维持泵出现故障不工作，应先关闭出口阀，然后 启动VB200旋片泵，再启动2ZJP—300罗茨泵，打开维持阀进行主抽。