小透光率浅沟槽隔离刻蚀在线量测与形貌和缺陷的研究

工艺与制造Process and Fabrication小透光率浅沟槽隔离刻蚀在线量测与形貌和缺陷的研究昂开渠，张钱（上海华力集成电路制造有限公司，上海 201203）摘要：随着CIS技术的发展和广泛